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电子束特别适合于加工半导体材料,其主要原因是电子束加工()。

A、加工效率高

B、工件变形小

C、在真空条件下进行

D、可控性好

相关标签: 电子束   可控性   半导体  

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    C、随深度的增加,低值等剂量线向外侧扩张,高值等剂量线向内收缩,不随电子束能量而变化

    D、随深度的增加,低值等剂量线向内收缩,高值等剂量线向内收缩,不随电子束能量而变化

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