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电子束特别适合于加工半导体材料,其主要原因是电子束加工()。
A、加工效率高
B、工件变形小
C、在真空条件下进行
D、可控性好
相关标签: 电子束 可控性 半导体
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B、随深度的增加,低值等剂量线向内收缩,高值等剂量线向外侧扩张,并随电子束能量而变化
C、随深度的增加,低值等剂量线向外侧扩张,高值等剂量线向内收缩,不随电子束能量而变化
D、随深度的增加,低值等剂量线向内收缩,高值等剂量线向内收缩,不随电子束能量而变化
E、随深度的增加,低值等剂量线向外侧扩张,高值等剂量线向外侧扩张,并随电子束能量而变化
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